ハードコーティング用セラミックス材料の開発―コンビナトリアルシステムによる酸化物固体潤滑剤被覆―

DOI Web Site 参考文献14件

書誌事項

タイトル別名
  • Hard coatings of oxide ceramics for tribology with a combinatorial sputter coating system
  • ハードコーティングヨウ セラミックス ザイリョウ ノ カイハツ : コンビナトリアル システム ニ ヨル サンカブツ コタイ ジュンカツザイ ヒフク

この論文をさがす

抄録

<p>セラミックコーティングは，基材金属の強【きょう】靱【じん】性とセラミックスの高硬度，耐酸化などの両性能を発揮できる表面処理法である．耐摩耗性が期待される硬質セラミックスは窒化物や炭素系など非酸化物系が多いが，高温雰囲気にさらされる耐熱摺動機構など酸化反応が進行し続ける環境では酸化物系コーティングが安定性や信頼性の点で期待される．酸化物系セラミックスは，高精度に組織や結晶性などを制御することが難しく，特に固体潤滑時には摩擦係数（μ）が0.1を大きく超えていたが，最近，成膜パラメータを制御することで，幅広い環境下で低摩擦係数を有する酸化物系コーティングが開発された．ここでは主としてコーティング膜構造を高精度に制御できるコンビナトリアルスパッタコーティングシステムの紹介と，これを用いてμが0.1未満となる酸化物系固体潤滑コーティングの開発について紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 81 (9), 769-773, 2012-09-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (14)*注記

もっと見る

関連プロジェクト

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ