サファイア基板上へのAlNのMOVPE成長における中間層制御

• 宮川 鈴衣奈

• 楊 士波

• 三宅 秀人

書誌事項

タイトル別名

• サファイア キバン ジョウ エ ノ AlN ノ MOVPE セイチョウ ニ オケル チュウカンソウ セイギョ
• Control of interlayer on MOVPE growth of AlN on sapphire substrate
• レーザ・量子エレクトロニクス
• レーザ ・ リョウシ エレクトロニクス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 111 (292), 5-10, 2011-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• AlN
• MOVPE
• sapphire
• 界面層
• interlayer

詳細情報

• CRID: 1520290882721644160
• NII論文ID: 10031103293
• NII論文ID: 110009466247
• NII論文ID: 110009465981
• NII論文ID: 110009466027
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 023343651
• NDL書誌ID: 023342895
• NDL書誌ID: 023345220
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023343651
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023342895
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023345220
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN