サファイア基板上へのAlNのMOVPE成長における中間層制御  [in Japanese] Control of interlayer on MOVPE growth of AlN on sapphire substrate  [in Japanese]

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  • 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料

    電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 111(291), 5-10, 2011-11-10

References:  14

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10031103293
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10012932
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    ART
  • Data Source
    CJP 
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