CF_4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電におけるCF_4分解特性

• 井出 存

  首都大学東京

• 白井 直機

  首都大学東京

• 栃久保 文嘉

  首都大学東京

• 内田 諭

  首都大学東京

書誌事項

タイトル別名

• CF_4 decomposition using atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF_4/noble gas mixtures

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2011 (90), 13-17, 2011-10-21

キーワード

• 誘電体バリア放電
• パックドベッド放電
• 非熱平衡大気圧プラズマ
• 大気圧グロー放電
• CF_4分解
• 発光分光分析

詳細情報

• CRID: 1572543026042281728
• NII論文ID: 10031118263
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles