CF_4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電におけるCF_4分解特性  [in Japanese] CF_4 decomposition using atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF_4/noble gas mixtures  [in Japanese]

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  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2011(90), 13-17, 2011-10-21

References:  14

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10031118263
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10320559
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    ART
  • Data Source
    CJP 
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