高誘電率基板を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化

• 小島 健

  東北学院大学

• 佐藤 弘二

  東北学院大学

• 薮上 信

  東北学院大学

• 加藤 和夫

  東北学院大学

• 小澤 哲也

  仙台高等専門学校

• 小林 伸聖

  電気磁気材料研究所

• 荒井 賢一

  電気磁気材料研究所

書誌事項

タイトル別名

• Sensitivity enhancement of transmission line type thin film sensor using by high permittivity substrate

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MBE, 医用・生体工学研究会

  電気学会研究会資料. MBE, 医用・生体工学研究会 2010 (157), 49-52, 2010-11-26

キーワード

• セラミック基板
• 薄膜磁界センサ
• 伝送線路
• 感度向上

詳細情報

• CRID: 1572824501018800896
• NII論文ID: 10031118890
• NII書誌ID: AN10074011
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles
  • KAKEN