超高速パルス光を用いたサーモリフレクタンス法によるナノ薄膜・界面の熱物性評価

• 八木 貴志

  （独）産業技術総合研究所 計測標準研究部門

• 竹歳 尚之

  （独）産業技術総合研究所 計測標準研究部門

• 馬場 哲也

  （独）産業技術総合研究所 計測標準研究部門

書誌事項

タイトル別名

• A measurement technique for the thermophysical properties of thin film and an interface
• チョウコウソク パルスコウ オ モチイタ サーモリフレクタンスホウ ニ ヨル ナノ ハクマク ・ カイメン ノ ネツ ブッセイ ヒョウカ

抄録

薄膜・界面の熱物性は，現代の電子機器や情報機器に用いられるデバイスの発熱や内部の温度を適切に制御するために重要である．薄膜において特徴的な，微細な結晶粒，結晶欠陥，また成膜プロセスに起因する気体分子の混入などは熱伝導のキャリヤであるフォノンや自由電子を散乱する要因となるため，薄膜の熱物性値は物質本来の値とは異なることが多い．またナノスケールの多層構造では，異種物質の接触面において生じる熱抵抗（界面熱抵抗）も無視できない影響を及ぼすことがある．本稿では，金属薄膜の膜厚方向の熱拡散率を定量的に測定できるパルス光加熱サーモリフレクタンス法の概要を紹介し，薄膜の熱拡散率の計測例や界面熱抵抗の評価について紹介する．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 82 (5), 397-402, 2013-05-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• thin films
• thermal boundary resistance
• pulsed light heating thermoreflectance

詳細情報

• CRID: 1390564227310773248
• NII論文ID: 10031166462
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.82.5_397
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 024626980
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I024626980
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可