超高速パルス光を用いたサーモリフレクタンス法によるナノ薄膜・界面の熱物性評価  [in Japanese] A measurement technique for the thermophysical properties of thin film and an interface  [in Japanese]

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Author(s)

    • 八木 貴志 YAGI Takashi
    • (独) 産業技術総合研究所 計測標準研究部門 National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
    • 竹歳 尚之 TAKETOSHI Naoyuki
    • (独) 産業技術総合研究所 計測標準研究部門 National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
    • 馬場 哲也 BABA Tetsuya
    • (独) 産業技術総合研究所 計測標準研究部門 National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Journal

  • 應用物理

    應用物理 82(5), 397-402, 2013-05-10

    応用物理学会

References:  38

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10031166462
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00026679
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL Article ID
    024626980
  • NDL Call No.
    Z15-243
  • Data Source
    CJP  NDL 
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