レーザ誘起前方転写法による金属微細配線のパターニング

• 佐野 智一

• 廣瀬 明夫

Bibliographic Information

Other Title

• レーザ ユウキ ゼンポウ テンシャホウ ニ ヨル キンゾク ビサイ ハイセン ノ パターニング
• Metal Microwire Patterning Using Laser-induced Forward Transfer Method
• Mate2013特集号 : ｢エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術｣シンポジウム
• Mate2013 トクシュウゴウ : 「 エレクトロニクス ニ オケル マイクロ セツゴウ ・ ジッソウ ギジュツ 」 シンポジウム

Journal

• スマートプロセス学会誌 = Journal of smart processing

  スマートプロセス学会誌 = Journal of smart processing 2 (4), 192-196, 2013-07

  大阪 : 高温学会

Keywords

• Laser Direct Writing
• Laser-induced Forward Transfer
• Excimer Laser
• Patterning

Details

• CRID: 1520290884871454464
• NII Article ID: 10031188158
• NII Article ID: 40019770943
• NII Book ID: AA12553487
• ISSN: 2186702X
• NDL BIB ID: 024809671
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/024809671
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I024809671
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN