圧電ダイアフラム型超音波センサのポーリングによる感度変化とその面内応力の影響  [in Japanese] Sensitivity Modification of Piezoelectric Diaphragm-Type Ultrasonic Microsensors by Poling and Influence of in-Plane Stress  [in Japanese]

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  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2013(20), 71-76, 2013-08-08

References:  10

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10031193607
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AA11486078
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    ART
  • Data Source
    CJP 
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