モノクロメータ付き200 kV原子分解能分析電子顕微鏡

• 向井 雅貴

  日本電子株式会社

• 奥西 栄治

  日本電子株式会社

• 芦野 公紀

  日本電子株式会社

• 応本 和也

  日本電子株式会社

• 福田 知久

  日本電子株式会社

• 池田 昭浩

  日本電子株式会社

• 染原 一仁

  日本電子株式会社

• 金山 俊克

  日本電子株式会社

• 齋藤 智浩

  ファインセラミックスセンターナノ構造研究所

• 平山 司

  ファインセラミックスセンターナノ構造研究所

• 幾原 雄一

  ファインセラミックスセンターナノ構造研究所 東京大学総合研究機構

書誌事項

タイトル別名

• 200 kV Atomic Resolution Analytical Electron Microscope Equipped with a Monochromator

抄録

物質の原子レベルでの電子状態の詳細を明らかにするため，ダブルウィーンフィルタ型のモノクロメータ付き200 kV原子分解能分析電子顕微鏡を開発した．このモノクロメータにより，単色化された等方的な電子プローブを得る事ができた．0.1秒露光での最高エネルギー分解能は200 kVで36 meV，60 kVで30 meVを得た．EELSマッピングを行った結果，原子スケールの空間分解能と高エネルギー分解能を両立した分析性能が示された．

収録刊行物

• 顕微鏡

  顕微鏡 48 (2), 128-132, 2013-08-30

  公益社団法人 日本顕微鏡学会

キーワード

• モノクロメータ
• 高分解能EELS
• 高分解能STEM
• 原子分解能EELSマッピング

詳細情報

• CRID: 1390845702278288896
• NII論文ID: 10031194759
• NII書誌ID: AA11917781
• DOI: 10.11410/kenbikyo.48.2_128
• ISSN: 24342386
• ISSN: 13490958
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可