イオンビームアシスト蒸着法によるSiNx膜の製作

• 岩瀬 満雄

書誌事項

タイトル別名

• イオン ビーム アシスト ジョウチャクホウ ニ ヨル SiNx マク ノ セイ

抄録

記事分類: 電気工学--電気材料・部品

収録刊行物

• 東海大学紀要. 工学部 = Proceedings of the School of Engineering of Tokai University

  東海大学紀要. 工学部 = Proceedings of the School of Engineering of Tokai University 31 (1), p23-30, 1991

  平塚 : 東海大学工学部

詳細情報

• CRID: 1520853835149027840
• NII論文ID: 110000193916
• NII書誌ID: AN00157101
• ISSN: 05636787
• NDL書誌ID: 3769656
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/3769656
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3769656
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles