イオンビームスパッタ法によるPLZT薄膜の形成/細線円筒鏡型高感度一次元変位センサ

• 村上 淳

  東京工業大学工学部

• 戸倉 和

  東京工業大学工学部

• 吉川 昌範

  東京工業大学工学部

• 北島 博愛

  九州工業大学工学部

• 宮内 真人

  北九州工業高等専門学校

• 小嶋 幹男

  九州工業大学工学部

• 久恒 正希

  九州工業大学工学部

• 水野 英明

  九州工業大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• イオン ビーム スパッタホウ ニ ヨル PLZT ハクマク ノ ケイセイ

抄録

記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 59 (11), 1844-1846,1881, 1993

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• Mechanical Engineering

詳細情報

• CRID: 1390282679774871936
• NII論文ID: 110001371232
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.59.1844
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 3852102
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3852102
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles