精密・超精密位置決めの現状と将来予想　　精密・超精密位置決めの制御法，アンプの最近の動向

• 二見 茂

  (株)安川電機

書誌事項

タイトル別名

• Recent trend of control algorithms and power amplifiers for precise and ultra-precise positioning
• カイセツ セイミツ チョウセイミツ イチギメ ノ セイギョホウ アンプ ノ サイキン ノ ドウコウ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 67 (2), 184-187, 2001

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• control algorithm
• power amplifier
• precise and ultra-precise positioning
• tracking control
• PID control
• perfect tracking control
• robust control
• H<SUP>∞</SUP> control
• linear amplifier
• PWM amplifier

詳細情報

• CRID: 1390282679774187008
• NII論文ID: 110001373102
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.67.184
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/09120289
• NDL書誌ID: 5665285
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5665285
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles