ＳＰＭを用いた微細加工　　ＳＰＭによる化学反応操作とナノ加工

• 杉村 博之

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Manipulation of Chemical Reactions by the Use of SPM and its Application to Nanofabrication
• SPM ニ ヨル カガク ハンノウ ソウサ ト ナノ カコウ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 71 (3), 299-302, 2005

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• SPM
• KFM
• anodization
• nanochemistry
• surface potential

詳細情報

• CRID: 1390282679773956736
• NII論文ID: 110001373744
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.71.299
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 7276619
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7276619
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles