高出力レーザビーム整形のためのマルチレベル銅CGHの製作

• 萩野 秀樹

  大阪府立産業技術総合研究所

• 朴 忠植

  大阪府立産業技術総合研究所

• 横井 昌幸

  大阪府立産業技術総合研究所

• 加藤 暢宏

  近畿大学生物理工学部

• 三俣 真理

  大阪府立大学工学研究科

• 菊田 久雄

  大阪府立大学工学研究科

• 岩田 耕一

  大阪府立大学工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of Multilevel Copper Computer Generated Hologram for High Power CO₂ Laser Beam Shaping
• コウシュツリョク レーザビーム セイケイ ノ タメ ノ マルチレベル ドウ CGH ノ セイサク
• Fabrication of Multilevel Copper Computer Generated Hologram for High Power CO2 Laser Beam Shaping

抄録

A multilevel computer generated hologram (CGH) was fabricated for shaping a laser beam profile of a high-power CO₂ laser. The surface relief has eight height levels with 0.94μm in step heights. A copper surface relief was formed on a flat copper substrate by electroplating with photo-resist masks. Standard deviation of the surface step height was less than 22% of the designed height. The CGH changes a CO₂ laser beam of 14mm in diameter to a rectangular beam of 1mm×4mm and its diffraction efficiency was 69.2%. A 200W CO₂ laser beam of 14mm in diameter did not damage the CGH surface.

収録刊行物

• 精密工学会誌論文集

  精密工学会誌論文集 70 (9), 1180-1185, 2004

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• laser processing
• beam shaping
• computer generated hologram
• CO₂ laser
• electroplating

詳細情報

• CRID: 1390282680258623488
• NII論文ID: 110001824048
• NII書誌ID: AA11966630
• DOI: 10.2493/jspe.70.1180
• ISSN: 18818722
• ISSN: 13488716
• ISSN: 13488724
• NDL書誌ID: 7071518
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7071518
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可