偏光分離2画像を用いたエッチング部品断面形状計測技術

• 秋山 伸幸

  長岡技術科学大学

• 辻山 純基

  長岡技術科学大学

• 吉田 昌弘

  長岡技術科学大学

書誌事項

タイトル別名

• Profile-Measuring Technology for Cross Section of Etched Parts Using Two Images Separated by Polarization
• ヘンコウ ブンリ 2 ガゾウ オ モチイタ エッチング ブヒン ダンメン ケイジョウ ケイソク ギジュツ

抄録

表面にテクスチャが存在するエッチング部品の垂直上方から縞パターンを投影し, 反射画像 h(x) を検出する. また, 縞パターンを投影しないもう1つの光学系で反射画像 g(x) を検出し h(x)/g(x) からテクスチャの影響を低減した縞画像信号 f(x) を得た. 2つの光学系を1つの装置に組込み, 偏光を用いて2つの画像を分離した. 表面粗さRaが0.58μmの部品の表面形状を±1.0μm以下の誤差で測定した.

収録刊行物

• 精密工学会誌論文集

  精密工学会誌論文集 71 (3), 389-393, 2005

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• cross-sectional profile
• profile measuring machine
• stripe pattern projection
• optical measurement

詳細情報

• CRID: 1390282680256658176
• NII論文ID: 110001824140
• NII書誌ID: AA11966630
• DOI: 10.2493/jspe.71.389
• ISSN: 18818722
• ISSN: 13488716
• ISSN: 13488724
• NDL書誌ID: 7288506
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7288506
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可