28a-S-8 Si中にδ-ドープしたSbの高分解能RBS法による観察

• 遠藤 芳夫

  京大工

• 木村 健二

  京大工

• 万波 通彦

  京大工

• Gossmann H.-J.

  AT&T Bell Lab

書誌事項

タイトル別名

• 28a-S-8 Observation of δ-doped Sb in Si with HRBS

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

  日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1995.4 (0), 14-, 1995

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001206163057792
• NII論文ID: 110001982677
• DOI: 10.11316/jpsgaiyoj.1995.4.0_14_1
• ISSN: 24331171
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles