飛行時間型イオン散乱法によるSi(001)上でのSi固相成長の観察

• 川本 清

  阪大工

• 布瀬 暁志

  阪大工

• 久次米 繁範

  阪大工

• 椎崎 貴史

  阪大工

• 片山 光浩

  阪大工

• 尾浦 憲治郎

  阪大工

書誌事項

タイトル別名

• Studies of solid phase epitaxy of Si layers on Si(001)by TOF-LEIS

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

  日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1996.2 (0), 587-, 1996

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282681143407872
• NII論文ID: 110001985841
• DOI: 10.11316/jpsgaiyoj.1996.2.0_587_2
• ISSN: 24331171
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles