13p-DG-1 RFを用いたプラズマ生成

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• 13p-DG-1 Plasma Production by means of RF Discharge

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

  日本物理学会講演概要集. 秋の分科会 1993.4 (0), 138-139, 1993

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001206160978816
• NII論文ID: 110001997786
• DOI: 10.11316/jpsgaiyoj.1993.4.0_138
• ISSN: 24331171
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles