5p-B-5 高温エチレン分子ビームによるSi(001)表面での炭化膜形成過程のRHEED観察

• 高見 知秀

  東北大科研

• 峰 哲朗

  東北大科研

• 猪狩 佳幸

  東北大科研

• 石塚 真治

  東北大科研

• 楠 勲

  東北大科研

書誌事項

タイトル別名

• 5p-B-5 RHEED Observation of carbide film growth on Si(001)produced by hot ethylene molecular beam

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 52.2.2 (0), 337-, 1997

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001206021721088
• NII論文ID: 110002061054
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.52.2.2.0_337_3
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles