21pXA-7 シリコン中の点欠陥と不純物の拡散メカニズム : タイトバインディング分子動力学シミュレーション

• 五十嵐 誉廣

  科学技術振興事業団ACT-JST

• 家富 洋

  新潟大理

• 鶴田 健二

  岡山大工

書誌事項

タイトル別名

• Diffusion Mechanisms of Impurities and Point Defects in Silicon : Tight-Binding Molecular Dynamics Simulation

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 58.2.4 (0), 856-, 2003

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001205993947264
• NII論文ID: 110002064604
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.58.2.4.0_856_3
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles