27a-ZH-6 RFプラズマの周波数依存性

• 本田 公文

  武蔵工大

• 松村 昭作

  武蔵工大

• 堤井 信力

  武蔵工大

書誌事項

タイトル別名

• 27a-ZH-6 Frequency Dependence of the plasma parameters in RF Discharges

収録刊行物

• 年会講演予稿集

  年会講演予稿集 46.4 (0), 108-, 1991

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001206206989312
• NII論文ID: 110002146942
• DOI: 10.11316/jpsgaiyod.46.4.0_108_1
• ISSN: 24331139
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles