28p-YD-2 Ar放電中の活性粒子束の測定
書誌事項
- タイトル別名
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- 28p-YD-2 Measurement of Active Particle Flux in Ar Discharge
収録刊行物
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- 日本物理学会講演概要集. 年会
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日本物理学会講演概要集. 年会 49.4 (0), 128-, 1994
一般社団法人 日本物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206193395712
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- NII論文ID
- 110002167662
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- ISSN
- 24331112
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles