むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用

• 板東 賢一

• 福原 聡

• 横田 眞一

書誌事項

タイトル別名

• ムダジカン オ ユウスル プロセス ニ タイスル リサン ジカン スライディングモード セイギョ ト ハンドウタイ セイゾウヨウ クーリング プレート エ ノ テキヨウ

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 69 (682), 1587-1594, 2003-06

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

キーワード

• Process Control
• Robust Control
• Observer
• Sliding-Mode Control
• Time Delay
• Pade-Approximation Error
• Optimal Pole Assignment
• Cooling Plate

詳細情報

• CRID: 1520290884154735232
• NII論文ID: 110002379034
• NII論文ID: 10013541188
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 6630714
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6630714
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles