601 超音波共鳴法による銅薄膜の異方性弾性定数の測定と組織評価

• 中村 暢伴

  阪大基工

• 小林 由佳

  阪大基工

• 荻 博次

  阪大基工

• 平尾 雅彦

  阪大基工

書誌事項

タイトル別名

• Measurement of elastic constants of copper thin films and microstructure evaluation by acoustic-resonance method

収録刊行物

• 材料力学部門講演会講演論文集

  材料力学部門講演会講演論文集 2003 (0), 439-440, 2003

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Copper
• Elastic Constant
• Microcracks
• Resonance Ultrasound method
• Thin Film

詳細情報

• CRID: 1390001206067868928
• NII論文ID: 110002489268
• DOI: 10.1299/jsmezairiki.2003.0_439
• ISSN: 24331287
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmezairiki/2003/0/2003_439/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles