F14-(4) フェムト秒レーザパルスを用いた三次元ナノ加工

• 山崎 和彦

  徳島大学工学部S-VBL

• Juodokazis Saulius

  徳島大学工学研究科

• 戎井 嵩裕

  徳島大学工学研究科

• 田淵 祐介

  徳島大学工学研究科

• 松尾 繁樹

  徳島大学工学研究科

• 三澤 弘明

  北海道大学電子科学研究所

収録刊行物

• 年次大会講演資料集

  年次大会講演資料集 VIII.03.1 (0), 197-198, 2003

  一般社団法人 日本機械学会

詳細情報

• CRID: 1390282681034678912
• NII論文ID: 110002500823
• DOI: 10.1299/jsmemecjsm.viii.03.1.0_197
• ISSN: 24331333
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecjsm/VIII.03.1/0/VIII.03.1_197/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles