TiSe_2イオンスパッタ膜の構造と結晶化 : 薄膜

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  • CRID
    1390001205862295424
  • NII論文ID
    110002713493
  • DOI
    10.19009/jjacg.14.1_119
  • ISSN
    21878366
    03856275
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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