ナノビーム二次イオン質量分析装置の試作と評価

• 野島 雅

  東京大学生産技術研究所

• 神田 雄介

  東京大学生産技術研究所 東京理科大学理工学部

• 戸井 雅之

  東京大学生産技術研究所 東京理科大学理工学部

• 冨安 文武乃進

  東京大学環境安全研究センター

• 坂本 哲夫

  東京大学生産技術研究所 東京大学環境安全研究センター

• 尾張 真則

  東京大学生産技術研究所 東京大学環境安全研究センター

• 二瓶 好正

  東京大学生産技術研究所 東京理科大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Development and estimation of a nano-beam secondary ion mass spectrometry apparatus.
• ナノビーム 2ジ イオン シツリョウ ブンセキ ソウチ ノ シサク ト ヒョウカ

抄録

近年の電子デバイスの微小化に伴い，ナノレベルでの分析・評価技術の確立が急務となっている．そこで，ナノ局所領域の元素分布分析の実現を目的とし，高空間分解能かつ高効率な二次イオン検出を実現するナノビームSIMS装置の試作を行った．本装置の一次イオンビームの評価を行った結果，面方向分解能の一つの指標となるエッジ分解能は標準偏差1σで22 nm程度と見積もられた．更に二次イオンマッピングにおけるユースフルイールドを議論した結果，数十nmの深さ方向を持つ試料に対して有効な分析手法であることが示唆された．更にDRAMのAlの二次イオンマッピングを行い，高空間分解能かつ高効率な二次イオン検出による²⁷Al^＋の元素マッピングを可能とした．<br>

収録刊行物

• 分析化学

  分析化学 52 (3), 179-185, 2003

  公益社団法人 日本分析化学会

キーワード

• nano-beam
• SIMS
• lateral resolution
• elemental mapping

詳細情報

• CRID: 1390282679030505472
• NII論文ID: 110002905202
• NII書誌ID: AN00222633
• DOI: 10.2116/bunsekikagaku.52.179
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3sXitFeiu7s%3D
• NDL書誌ID: 6491079
• ISSN: 05251931
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/05251931
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6491079
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/bunsekikagaku/52/3/52_3_179/_pdf
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10895424
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可