半導体レーザー多重反射吸収分光法によるガス中微量水分の定量

• 呉 尚謙

  日本酸素(株)つくば研究所:300-2611 茨城県つくば市大久保10

• 君島 哲也

  日本酸素(株)つくば研究所:300-2611 茨城県つくば市大久保10

• 増崎 宏

  日本酸素(株)つくば研究所:300-2611 茨城県つくば市大久保10

• 久世 宏明

  千葉大学環境リモートセンシング研究センター:263-8522 千葉県千葉市稲毛区弥生町1-33

• 竹内 延夫

  千葉大学環境リモートセンシング研究センター:263-8522 千葉県千葉市稲毛区弥生町1-33

書誌事項

タイトル別名

• Determination of trace moisture in gases by diode-laser multi-pass absorption spectroscopy.
• ハンドウタイ レーザー タジュウ ハンシャ キュウシュウ ブンコウホウ ニ ヨル ガス チュウ ビリョウ スイブン ノ テイリョウ

抄録

近赤外波長域で発振するInGaAsP分布帰還型半導体レーザーを光源とし,耐食性を有する多重反射サンプルセルを用いて窒素及び塩化水素ガス中微量水分の定量を試みた。一般に,可干渉距離が長い半導体レーザーと多重反射セルと組み合わせた場合,多重反射により大きな干渉ノイズが生じ,分析システムとしての測定感度を低下させる問題がある。本研究では,測定感度を高めるため,半導体レーザーの特性や測定条件に合わせて多重反射セルの鏡間距離を調整した。これにより,干渉ノイズの波長周期を吸収信号の線幅から分離させる。その上で,多段移動平均処理によって光干渉ノイズの影響を除去し,高感度な定量測定を実現した。多重反射セルの吸収光路長を20mに設定した場合,窒素ガス中の水分をppbオーダーまで実測することが可能となり,検出下限は2.3ppbであった。

収録刊行物

• 分析化学

  分析化学 49 (2), 99-104, 2000

  公益社団法人 日本分析化学会

キーワード

• trace moisture
• hydrogen chloride
• diode-laser
• near-infrared
• absorption
• multi-pass cell
• gas impurity analysis

詳細情報

• CRID: 1390282679027879040
• NII論文ID: 110002905824
• NII書誌ID: AN00222633
• DOI: 10.2116/bunsekikagaku.49.99
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3cXhsFSiu7w%3D
• NDL書誌ID: 5165330
• ISSN: 05251931
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5165330
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/bunsekikagaku/49/2/49_2_99/_pdf
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10894697
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可