熱加水分解/イオンクロマトグラフ法による窒化ケイ素原料及び焼結体中のフッ素定量

  • 渡辺 光義
    日本ガイシ(株)研究開発本部基礎研究所: 467-8530 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2-56
  • 生川 章
    日本ガイシ(株)研究開発本部基礎研究所: 467-8530 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2-56

書誌事項

タイトル別名
  • Determination of fluorine in silicon nitride by pyrohydrolysis/ion chromatography.
  • ネツ カスイ ブンカイ イオンクロマトグラフホウ ニ ヨル チッカ ケイソ ゲンリョウ オヨビ ショウケツタイ チュウ ノ フッソ テイリョウ

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抄録

窒化ケイ素焼結体中に含まれるフッ素は,高温における強度低下の原因となる。原料粉末又は焼結体粉砕品の1gを白金ボードに採り,1350°Cの石英管内で熱加水分解し,生じたフッ化水素を水蒸気とともに水酸化ナトリウム溶液に吸収させ,イオンクロマトグラフ法により定量した。原料粉末はそのまま,焼結体は149μm以下に粉砕した後に熱加水分解すると,試料当たり3時間で迅速に正確な分析値が得られた。本法は検出限界1μg g-1と高感度であり,相対標準偏差も原料粉末で5%以下,焼結体で2%以下と再現性も良好であった。

収録刊行物

  • 分析化学

    分析化学 49 (8), 583-586, 2000

    公益社団法人 日本分析化学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (6)*注記

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