超微細加工プロセス技術とGHz帯弾性表面波変換器

• 目黒 敏靖

  東北大学電気通信研究所

• 長 康雄

  山口大学工学部

• 山之内 和彦

  東北大学電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• Ultra-fine electrode fabrication techniques and applications to GHz-range surface wave transducers
• チョウ ビサイ カコウ プロセス ギジュツ ト GHzタイ ダンセイ ヒョウメ

抄録

近年、移動体通信の周波数帯が、1GHz帯から、次の世代では2〜3GHzに移行しつつある。これらのGHz帯での低損失、広帯域幅の変換器とフィルタが、信号処理と電子デバイスに強く要求されている。特に、光通信のタイミング注出用のフィルタでは、10GHz帯のフィルタが要求されている。これらの要求を満たすGHz帯弾性表面波デバイスの作製に必要な超微細加工プロセス技術が種々提案されているが、その中で、リフトオフ技術はすだれ状電極弾性表面波変換器に対して最良の方法である。本論文では、電子ビーム直接露光とリフトオフ法を用いた微細加工技術と0.1μm電極幅のすだれ状電極の作製に成功し、10GHz帯で24dBの挿入損失のフィルタを得た結果について述べる。

収録刊行物

• 日本音響学会誌

  日本音響学会誌 51 (10), 769-773, 1995

  一般社団法人 日本音響学会

キーワード

• ナノメータリソグラフィ
• 電子線露光
• リフトオフ技術
• 弾性表面波
• すだれ状電極
• 弾性表面波フィルタ

詳細情報

• CRID: 1390282681544712064
• NII論文ID: 110003106761
• NII書誌ID: AN00186234
• DOI: 10.20697/jasj.51.10_769
• ISSN: 24322040
• ISSN: 03694232
• NDL書誌ID: 3639641
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3639641
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可