スパッタ堆積後熱処理によるSrAl2O4薄膜の特性制御

• 石井 岳志

• 池田 倫秋

• 清水 英彦

書誌事項

タイトル別名

• スパッタ タイセキ ゴ ネツ ショリ ニ ヨル SrAl2O4 ハクマク ノ トクセイ セイギョ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102 (434), 11-16, 2002-11-13

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 長残光性蛍光体
• 反応性スパッタ
• thin film
• long-lasting phosphorescence
• reactive sputter
• annealing

詳細情報

• CRID: 1520009408101560832
• NII論文ID: 110003174828
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6401290
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6401290
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles