金属ゲート電極を利用したガラス上の自己整合ダブルゲートCLC poly-Si TFT

• 原 明人

• 竹井 美智子

• 吉野 健一

書誌事項

タイトル別名

• キンゾク ゲート デンキョク オ リヨウ シタ ガラス ジョウ ノ ジコ セイゴウ ダブルゲート CLC poly Si TFT

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (3), 1-6, 2004-04-16

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 薄膜トランジスタ
• 多結晶シリコン
• 結晶化
• double gate
• thin film transistor
• crystallization
• glass

詳細情報

• CRID: 1520009407085653632
• NII論文ID: 110003175648
• NII論文ID: 110003309329
• NII論文ID: 110003300536
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6956443
• NDL書誌ID: 6958240
• NDL書誌ID: 6958293
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6956443
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6958240
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6958293
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles