Ni供給量制限下におけるMILC成長に電界印加が及ぼす影響

• 柴田 憲利

• 中川 豪

• 牧平 憲治

書誌事項

タイトル別名

• Ni キョウキュウリョウ セイゲン カ ニ オケル MILC セイチョウ ニ デンカイ インカ ガ オヨボス エイキョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (3), 7-12, 2004-04-16

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 多結晶シリコン
• TFT
• 金属誘起横方向結晶化
• 針状Si結晶
• ニッケルシリサイド
• 電界
• poly-Si
• Metal-Induced Lateral Crystallization
• needle-like Si
• Ni siliside
• electric field

詳細情報

• CRID: 1520290882752046976
• NII論文ID: 110003175649
• NII論文ID: 110003300537
• NII論文ID: 110003309330
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6956470
• NDL書誌ID: 6958296
• NDL書誌ID: 6958243
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/6956470
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6956470
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/6958296
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6958296
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/6958243
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6958243
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN