MOVPE法によるSi基板上へのGaN/AlNピラミッド構造の作製

• 本田 善央

• 中村 剛

• 山口 雅史

書誌事項

タイトル別名

• MOVPEホウ ニ ヨル Si キバン ジョウ エ ノ GaN AlN ピラミッド コウゾウ ノ サクセイ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (43), 17-22, 2004-05-13

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 選択成長
• (111) Si
• MOVPE
• フィールドエミッタ
• selective area growth
• field emitter

詳細情報

• CRID: 1520290883252736768
• NII論文ID: 110003175659
• NII論文ID: 110003309312
• NII論文ID: 110003175188
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6995059
• NDL書誌ID: 6995058
• NDL書誌ID: 6994931
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6995059
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6995058
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6994931
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles