前処理を施した光学ガラス基板を用いた拡散型チャネル光導波路の作製

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タイトル別名
  • Diffusion type optical channel waveguide fabricated in pre-diffused optical glass
  • マエショリ オ ホドコシタ コウガク ガラス キバン オ モチイタ カクサンガタ チャネル コウドウハロ ノ サクセイ
  • <レター> 前処理を施した光学ガラス基板を用いた拡散型チャネル光導波路の作製

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抄録

2段階拡散法によりガラス製チャネル光導波路を作製する際に、使用する基板ガラスの組成や特性によっては埋込み型チャネル光導波路を作製することが困難な場合がある。このような場合でも、あらかじめガラス基板表面にナトリウムイオンを拡散させ、組成の異なる領域を形成(前処理)しておけば、チャネル光導波路が作製できることを示している。

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