金属インプリント法による結晶粒位置制御と単結晶Si薄膜トランジスタへの応用

• 牧平 憲治

• 吉井 栄仁

• 浅野 種正

書誌事項

タイトル別名

• キンゾク インプリントホウ ニ ヨル ケッショウリュウ イチ セイギョ ト タンケッショウ Si ハクマク トランジスタ エ ノ オウヨウ
• 低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集
• テイオン マタワ コウオン タケッショウ Si ト アクティブマトリックスガタ ディスプレイヨウ ハクマク トランジスタ ロンブン トクシュウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 85 (8), 644-650, 2002-08

  東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ

キーワード

• poly-Si TFT
• 核形成位置制御
• 固相結晶化
• 多結晶シリコン

詳細情報

• CRID: 1520290884292197376
• NII論文ID: 110003181805
• NII書誌ID: AA11412446
• ISSN: 13452827
• NDL書誌ID: 6244805
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/6244805
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6244805
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles