ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの磁気特性および記録特性 Magnetic Properties and Recording Characteristics of Co-containing Ferrite Thin-Film Media Prepared by ECR sputtering

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Abstract

反応性ECRスパッタ法を用いて150℃の基板温度で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアを、2種類の方法によって酸化処理を行い、その磁気特性および記録特性におよぼす効果について調べた。その結果、ECRプラズマを照射することによって酸化処理を施したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、平滑な表面を維持したまま磁気特性を向上させることができ、MIGヘッドによる記録・再生において市販の20Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>を示すことがわかった。

Co-containing ferrite thin-film media deposited by a reactive-ECR-sputtering depositing ferrite thin-film at the low substrate temperature of 150 degree Celsius were oxidized by two methods. In the Co-containing ferrite thin-film medium oxidized by ECR plasma, the magnetic properties and recording characteristics were improved with maintaining a smooth surface. The medium showed high D_<50> as high as that of a commercial 20 Gb/in^2 longitudinal hard disk in MIG head recording and reproduction.

Journal

  • IEICE technical report. Magnetic recording

    IEICE technical report. Magnetic recording 101(399), 19-24, 2001-10-31

    The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

References:  7

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    110003186648
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10013050
  • Text Lang
    ENG
  • Article Type
    ART
  • ISSN
    09135685
  • NDL Article ID
    6012811
  • NDL Source Classification
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL Call No.
    Z16-940
  • Data Source
    CJP  NDL  NII-ELS 
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