SrAl_2O_4:Eu薄膜の作製と熱刺激発光特性

• 傳井 達

  新潟大学大学院自然科学研究科

• 上村 拓也

  新潟大学大学院自然科学研究科

• 小倉 行博

  新潟大学大学院自然科学研究科

• 加藤 景三

  新潟大学大学院自然科学研究科

• 新保 一成

  新潟大学工学部

• 金子 双男

  新潟大学工学部

• 太田 雅壽

  新潟大学工学部

• 川上 貴浩

  新潟大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Preparation and Thermoluminescence Properties of SrAl_2O_4:Eu Thin Films

抄録

本研究では, 粉末で強い蛍光を示すことが知られているSrAl_2O_4:EU, Dyの薄膜化を目指す準備段階として、対向ターゲット式RFスパッタ法を用いてSrAl_2O_4のスパッタリング薄膜の作製を試みてきた。その結果、Si基板上に堆積されたスパッタ薄膜は、還元性ガス(H_2+Ar)雰囲気中においてアニールすることで、約520nmに発光ピークを持つフォトルミネセンスと長残光性蛍光が観測された。また、作製されたスパッタ薄膜の熱ルミネセンス(TL)特性を観測し、残光特性を調べた。更に詳しい残光特性と評価するためパーシャル・ヒーティング(PH)法によるTL測定(PH-TL測定)を行い残光特性に関するトラップ分布を求めた。

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料

  電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 98 (376), 1-6, 1998-10-29

  一般社団法人電子情報通信学会

キーワード

• SrAl_2O_4:Eu
• 対向ターゲット式RFスパッタ
• フォトルミネセンス
• 熱ルミネセンス
• パーシャル・ヒーティング法
• トラップ

詳細情報

• CRID: 1573668927143899904
• NII論文ID: 110003199299
• NII書誌ID: AN10012932
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles