触媒体上でのNF3ガス分解反応を用いた低コスト・低環境負荷チャンバークリーニング法の開発

• 西村 悟

• 増田 淳

• 和泉 亮

書誌事項

タイトル別名

• ショクバイタイ ジョウ デ ノ NF3 ガス ブンカイ ハンノウ オ モチイタ テイコスト テイカンキョウ フカ チャンバークリーニングホウ ノ カイハツ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101 (395), 61-65, 2001-10-26

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• Cat-CVD
• insituチャンバークリーニング
• 接触分解反応
• in situ chamber cleaning
• catalytic cracking reaction

詳細情報

• CRID: 1520009407791076736
• NII論文ID: 110003199723
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 5976119
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5976119
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles