レーザアブレーション法の分子線源としての可能性

• 加地徹

  豊田中央研究所

• 加納 浩之

  豊田中央研究所

書誌事項

タイトル別名

• Potential of laser ablation as a molecular beam source

抄録

レーザアブレーション法のMBEにおける分子線源としての可能性を検討した。11種類の元素物質を、レーザアブレーション法により基板上に堆積し、その表面状態を観察し評価した。レーザアブレーション法の持つ大きな問題点として、堆積表面での微粒子の形成がある。表面の観察の結果、高融点物質および昇華性物質は微粒子を生じないことがわかった。一方、中・低融点物質は固体のターゲットでは微粒子を形成するが、溶融したターゲットとすることで、微粒子形成を防止可能であることを見いだした。また蒸発形態の観測によりレーザアブレーション法の分子線源としての可能性を確認した。

収録刊行物

• 信学技報

  信学技報 93 39-44, 1993

  一般社団法人電子情報通信学会

キーワード

• レーザアブレーション
• 分子線源
• 分子線エピタキシャル法
• エキシマレーザ
• 溶融ターゲット

詳細情報

• CRID: 1571135652355929600
• NII論文ID: 110003200405
• NII書誌ID: AN10012954
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles