フラクタル特徴変数による複雑な形状をもつ物体の同定--LSIウェーハ上の異物のカテゴリー分類

• 上条 正義

• 中沢 賢

• 清水 義雄

書誌事項

タイトル別名

• フラクタル トクチョウ ヘンスウ ニ ヨル フクザツ ナ ケイジョウ オ モツ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

• 電子情報通信学会論文誌. D-2, 情報・システム. 2, パターン処理 = The IEICE transactions on information and systems. Pt. 2 / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. D-2, 情報・システム. 2, パターン処理 = The IEICE transactions on information and systems. Pt. 2 / 電子情報通信学会 編 78 (5), p794-802, 1995-05

  東京 : 電子情報通信学会情報・システムソサイエティ

詳細情報

• CRID: 1520853835231345280
• NII論文ID: 110003227282
• NII書誌ID: AN1007132X
• ISSN: 09151923
• NDL書誌ID: 3613587
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3613587
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles