CADデータとの比較によるパターン検査アルゴリズム  [in Japanese] Pattern Inspection Algorithm with CAD data Comparison  [in Japanese]

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Abstract

半導体、基板の製造工程では、パターン上の形状欠陥を検査して、製品の品質を保証する必要がある。この報告は、パターン上の欠陥を画素サイズの分解能以下で検出する検査アルゴリズムに関するもので、方式とパターン欠陥検査装置に適用した結果を報告する。

Journal

  • Proceedings of the IEICE General Conference

    Proceedings of the IEICE General Conference 1995年.情報・システム(2), 247, 1995-03-27

    The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    110003242238
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10471452
  • Text Lang
    JPN
  • Data Source
    NII-ELS 
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