CADデータとの比較によるパターン検査アルゴリズム

• 井上 広

  (株)東芝生産技術研究所

• 奥田 健太郎

  (株)東芝生産技術研究所

• 野村 武彦

  (株)東芝生産技術研究所

• 小野 明

  (株)東芝生産技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Pattern Inspection Algorithm with CAD data Comparison

抄録

半導体、基板の製造工程では、パターン上の形状欠陥を検査して、製品の品質を保証する必要がある。この報告は、パターン上の欠陥を画素サイズの分解能以下で検出する検査アルゴリズムに関するもので、方式とパターン欠陥検査装置に適用した結果を報告する。

収録刊行物

• 電子情報通信学会総合大会講演論文集

  電子情報通信学会総合大会講演論文集 1995 (2), 247-, 1995-03-27

  一般社団法人電子情報通信学会

詳細情報

• CRID: 1573668927217910656
• NII論文ID: 110003242238
• NII書誌ID: AN10471452
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles