ダイヤモンドSAWフィルターの特性と応用

中幡 英章, 桧垣 賢次郎, 藤井 知, 北林 弘之, 田辺 敬一郎, 関 裕一郎, 鹿田 真一

ダイヤモンドSAWフィルターの特性と応用

中幡英章

住友電気工業株式会社伊丹研究所
桧垣賢次郎

住友電気工業株式会社伊丹研究所
藤井知

住友電気工業株式会社伊丹研究所
北林弘之

住友電気工業株式会社伊丹研究所
田辺敬一郎

住友電気工業株式会社伊丹研究所
関裕一郎

住友電気工業株式会社伊丹研究所
鹿田真一

住友電気工業株式会社伊丹研究所

書誌事項

タイトル別名

Characteristics and application of diamond SAW filter

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抄録

速いSAW伝搬速度は、SAWデバイスの高周波化にとって大きな利点である[1]。我々はこれまで、高音速材料であるダイヤモンドと圧電薄膜の積層構造に着目して、理論計算及びCVDダイヤモンド膜を用いた実験検討を行ってきた[2-14]。本稿では、これまで評価を行ってきたSAW基本特性のまとめ、及びフィルターへの応用例として狭帯域フィルターを試作した結果[12,14]について述べる。