ワイヤソーによる水晶切断加工技術の研究

• 渡邉 隆彌

• 小島 正康

書誌事項

タイトル別名

• ワイヤソー ニ ヨル スイショウ セツダン カコウ ギジュツ ノ ケンキュウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100 (579), 35-42, 2001-01-26

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 一方向性ワイヤソー
• ランバード加工人工水晶
• 遊離砥粒
• 反り
• 平行度
• unidirectional multi-wire-saw
• rumbered quartz crystal
• isolation abrasive grain
• warp
• total thickness variation

詳細情報

• CRID: 1520009409469811840
• NII論文ID: 110003188394
• NII論文ID: 10022133666
• NII論文ID: 110003284705
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 5674193
• NDL書誌ID: 5674387
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5674193
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5674387
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles