マイクロアクチュエータとその応用 Actuators and their Applications

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Abstract

半導体マイクロマシニングで作るミクロンサイズのアクチュエータについて、その原理、構造、応用などを紹介する。静電気で動くマイクロミラーのアレイを用いた光スイッチ、形状記憶合金薄膜のマイクロアクチュエータ、ミリ波アンテナの走査用のマイクロアクチュエータ、スクラッチドライブ静電アクチュエータによる立体マイクロ構造の自己構築などを例に、最近の研究事例を述べる。また、自律分散マイクロシステムの概念について紹介する。

Driving principles, configurations and applications of micromachined actuators are reviewed. Examples include (1)an optical matrix switch composed of arrayed torsional micromirrors which are driven by electrostatic force, (2)a microactuator using thin film shape memory alloy (TiNi), (3)a microactuator for scanning a microwave antenna, and (4)self-assembly of three-dimensional microstructures by scratch drive microactuators. A system architecture, an autonomous distributed micro system, is proposed to make best use of micromechatronic technology.

Journal

  • IEICE technical report. EMD

    IEICE technical report. EMD 97(12), 1-6, 1997-04-18

    The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

References:  4

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    110003293077
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10383978
  • Text Lang
    ENG
  • Article Type
    ART
  • Data Source
    CJP  NII-ELS 
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