ゴム系材料を用いた弾性波センサ
書誌事項
- タイトル別名
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- QCM gas sensor using rubber sensing film
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抄録
複数の感応膜を使う代わりに, べースとなる感応膜の性質を化学的に変化させることにより, 高機能, 高精度なガス識別システムを実現を試みた. ペース感応膜に多孔質で, 機能分子の付加が容易な二重結合を持つゴム材料である1,2ポリブタジエン(1,2PB)を使用し, 機能分子として, ヨウ素, 臭素など材料を用いた. 実験では, ゴム系材料はスピンコーターで振動子上に数百nm塗布し, アルコールなど十数種類のガスに対する周波数変化を測定した. 結果として1,2PBような材料に機能分子を付け加えることによって異なるガスに対し異なる応答特性が得られ, またこの様なセンサを複数用いて同系統のガスの識別ができる可能性を示した.
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス
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電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス 97 (149), 63-68, 1997-07-04
一般社団法人電子情報通信学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570854177362877952
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- NII論文ID
- 110003293100
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- NII書誌ID
- AN10383978
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles