光通信用シリコンV溝基板の開発

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タイトル別名
  • Development of the Si V-groove substrate for optical fiber communication

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抄録

ローコストタイプの表面実装型光モジュールに使われるシリコンV溝基板を開発したのでその内容について報告する。この用途における市場要求は一言でいうと"コストと精度の両立"にある。我々は量産レベルにおいてV溝幅、メタルマーカーパターンについては±0.5μm、V溝とマーカーの相対位置精度ついてはほぼ0μmというパッシブアライメントに十分な精度を得た。これによりシリコンV溝基板が将来型光モジュールのキーパーツとしてきわめて有望であることを確認した。

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キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1571980077269736704
  • NII論文ID
    110003293121
  • NII書誌ID
    AN10383978
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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