立方晶ナイトライドのMOVPE成長と評価

  • 矢口 裕之
    東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻
  • 呉 軍
    東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻
  • 尾鍋 研太郎
    東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • MOVPE Growth and Characterization of Cubic Nitrides

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抄録

より結晶性の高い立方晶ナイトライドの成長を行うために有機金属気相成長における成長条件について検討を行った。その検討に基づいて成長した高品質な立方晶ナイトライドをフォトルミネッセンスによって評価し, いくつかの発光ピークについてその起源を明らかにした。さらに, 立方晶GaN/AlGaNダブルヘテロ構造を作製し, 光励起による誘導放出を観測した。

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参考文献 (16)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1571417127419076864
  • NII論文ID
    110003307581
  • NII書誌ID
    AN10442705
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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